
Țintă acoperită cu tantal
Tantalum coated target is a material made of high-purity tantalum metal or tantalum alloy, mainly used in various thin film deposition processes. Tantalum coated targets have excellent corrosion resistance, high melting point, and biocompatibility, and are widely used in various high-tech fields such as electronics, semiconductors, anti-corrosion coatings, and medical Echipament .
Descriere
Shaanxi Zhongheng Weichuang Metal Materials Co ., Ltd . este localizat în zona de dezvoltare de înaltă tehnologie a orașului Baoji, provincia Shaanxi . Compania produce în principal profiluri prelucrate convenționale, cum ar fi farfurii, stripuri, folii, roți, și pipete, cum ar fi farfurii, stripuri, folii, roți, și pipete, ca farfurii, nii Hafnium, Tantalum Tungsten Alloy, Niobium Hafnium aliaj C103, precum și produse prelucrate profunde, cum ar fi nave, crucible, ținte de sputtering, ținte de acoperire, piese prelucrate, ecrane de izolare la temperatură ridicată, elemente de încălzire, corpuri de cuptor (cuptor de încălzire, cuptor de renegare) și coroziune echipament de cuptor {
Procesul de preparare a țintelor acoperite cu tantal include următorii pași principali

Proces de pregătire
Pregătirea materiilor prime: pulbere de tantalum de înaltă puritate (puritatea mai mare sau egală cu 99 . 95%) este topită prin topirea fasciculului de electroni (EBM) sau formată prin metalurgie de pulbere . Metoda EBM poate elimina impuritățile de fierbere scăzute, reduce conținutul de oxigen la 50 ppm.
Procesarea plastică: inclusiv forjarea, rularea și tratamentul termic . Forjarea multidirecțională este efectuată la gradul 1100-1250, iar tehnologia de rulare caldă (600-800}) este utilizată pentru rularea . Tratamentul de căldură se realizează prin renaștere în vid pentru a elimina stresul de procesare și obținerea uniformei A-PHASE {{5
Proces de pregătire
Prelucrare de precizie: semifabricatul este prelucrat până la dimensiunea țintei folosind un strung CNC/mașină de frezat, cu o rugozitate de suprafață RA<0.4 μ m and a flatness error ≤ 0.02mm/100mm.
Tehnologia de legare: Sudarea sau brazarea de difuzie este utilizată pentru a lega ținta tantalului cu placa de susținere a cuprului, asigurând eficiența disipatării căldurii în timpul procesului de sputtering

Obiectivele acoperite cu tantal au următoarele caracteristici:
Punct de topire ridicat și rezistență excelentă la coroziune: Obiectivele acoperite cu tantal au un punct de topire de până la 3017 grade C și un punct de fierbere de 5458 grade C, prezentând o rezistență excelentă la coroziune și nu reacționează cu Aqua Regia la temperatura camerei .
Stabilitate la temperatură ridicată: capabil să mențină o rezistență de peste 400MPa la 500 grade C, potrivită pentru sputtering de mare putere .
Energia de suprafață de adsorbție cu gaz scăzut: energia de suprafață este la fel de scăzută ca 0 . 8 j/m ², suprimând eficient adsorbția de gaz AR și îmbunătățind rata de depunere a filmului.
Excellent film properties: When the thickness of the prepared TaN barrier layer is ≤ 5nm, it can still prevent Cu diffusion, and the critical current density is>1 × 10 ⁶ a/cm ² .
Principalele zone de aplicare ale țintelor acoperite cu tantal includ:
Fabricarea semiconductorului: Obiectivele acoperite cu tantal sunt utilizate în mod obișnuit în straturile de barieră de interconectare de cupru în fabricarea circuitului integrată, în special în cipurile sub nodul de 10 nm . Structura ta/tan a stratului poate prelungi timpul de defectare a electromigrării până la 10 ⁷ ore .
Acoperire optică: Obiectivele acoperite cu tantal pot fi utilizate pentru fabricarea de filme subțiri cu proprietăți optice specifice, utilizate pe scară largă în dispozitive optice, afișaje și senzori .
Dispozitive medicale: Datorită biocompatibilității lor excelente, țintele acoperite cu tantal sunt utilizate pentru fabricarea implanturilor ortopedice, cum ar fi plăci osoase și protezele articulare, reducând reacțiile de respingere umană .
Fabricare de înaltă calitate: La fabricarea de înaltă calitate, cum ar fi acoperirea sputtering și acoperirea optică, cererea de ținte acoperite cu tantal a crescut, iar dimensiunea pieței globale este de așteptat să ajungă la 3,27 miliarde de yuani cu 2026.}
În viitor, odată cu optimizarea continuă a proceselor de acoperire, materialele țintă Tantalum își vor extinde și mai mult limitele aplicației în producția de energie și de precizie nouă, oferind un suport material mai fiabil pentru dezvoltarea tehnologică .
Tag-uri populare: Țintă acoperită cu tantal, producători, furnizori, fabrici, fabrici, furnizori, fabrici, tantal pentru rezervoare chimice, lanț de aprovizionare cu materii prime tantalum
Trimite anchetă
S-ar putea sa-ti placa si






